產(chǎn)品特點(diǎn)
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優(yōu)異的結構設計
測量機采用固定橋式的高剛性機械結構,使用花崗巖橫梁、底座和立柱,以及精密 SiC 陶瓷 Z 軸的組合,保持機械結構的穩定性,抗外界干擾能力強
移動(dòng)工作平臺采用雙燕尾式氣浮導軌,確保系統測量和系統承載的同時(shí)提供良好的穩定性
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極致的穩定性
SiC 陶瓷 Z 軸具有熱膨脹系數小、剛性強以及質(zhì)量輕等優(yōu)點(diǎn),在保證測量系統穩定性的同時(shí),亦提高了運動(dòng)特性
各軸采用預載空氣軸承及環(huán)抱式布局,具有高剛性、無(wú)接觸、低摩擦以及低磨損的特點(diǎn),有效保證機器的使用壽命,減少測量不確定性的發(fā)生次數
采用零膨脹系數光柵尺,分辨率高達到納米級別,且不受外界溫度影響,保證機器的高精度和穩定性
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安全性
Z 軸采用柔性平衡氣缸,確保Z軸運動(dòng)的可靠性
Z 軸平衡氣缸具有氣動(dòng)邏輯保護和硬件抱死保護兩種保護機制,可在緊急情況下確保探測系統的安全
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計量級精度
得益于良好的系統設計,可實(shí)現亞微米級精度測量
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自主研發(fā),具有更好的適配性
革命性的直線(xiàn)電機驅動(dòng)搭配 TCC 自研電控
Vispec Cube 自研軟件,獲得德國 PTB 最高等級 Class 1(0.1 微米、0.1 角秒)認證
可搭配 HSP 固定掃描測頭、CSP緊湊型掃描測頭
可搭配 TR50 旋轉測座
產(chǎn)品參數
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CMZ686
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CMZ8106
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CMZ10128
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CMZ10158
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CMZ121510
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CMZ122010
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行程范圍 (mm)
600×800×600
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外形尺寸 (mm)
1682×2107×3260
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重量 (kg)
4760
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行程范圍 (mm)
800×1000×600
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外形尺寸 (mm)
1882×2557×3260
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重量 (kg)
6207
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行程范圍 (mm)
1000×1200×800
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外形尺寸 (mm)
2082×3007×3660
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重量 (kg)
8000
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行程范圍 (mm)
1000×1500×800
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外形尺寸 (mm)
2082×3582×3660
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重量 (kg)
9600
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行程范圍 (mm)
1200×1500×1000
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外形尺寸 (mm)
2282×3582×4060
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重量 (kg)
10800
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行程范圍 (mm)
1200×2000×1000
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外形尺寸 (mm)
2282×4632×4060
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重量 (kg)
13800
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