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CMZ 計量型三坐標

CMZ 系列計量型三坐標測量機是天準研發(fā)生產(chǎn)的高端精密測量裝備。采用固定橋結構形式、花崗巖機身和碳化硅陶瓷的 Z 軸組合,保證了測量精度的高穩定性。三軸直線(xiàn)電機的驅動(dòng)形式,不僅消除了傳動(dòng)誤差,還因無(wú)接觸無(wú)磨損驅動(dòng)而提高了精度穩定性、因高響應速度而提高了測量效率。適用于計量檢測、半導體裝備、航空航天、電子信息等領(lǐng)域的高精度測量場(chǎng)景。

CMZ 556X556.png

產(chǎn)品特點(diǎn)

  • CMZ.280.png

    優(yōu)異的結構設計

    • 測量機采用固定橋式的高剛性機械結構,使用花崗巖橫梁、底座和立柱,以及精密 SiC 陶瓷 Z 軸的組合,保持機械結構的穩定性,抗外界干擾能力強

    • 移動(dòng)工作平臺采用雙燕尾式氣浮導軌,確保系統測量和系統承載的同時(shí)提供良好的穩定性


  • 極致穩定性.296.png

    極致的穩定性

    • SiC 陶瓷 Z 軸具有熱膨脹系數小、剛性強以及質(zhì)量輕等優(yōu)點(diǎn),在保證測量系統穩定性的同時(shí),亦提高了運動(dòng)特性

    • 各軸采用預載空氣軸承及環(huán)抱式布局,具有高剛性、無(wú)接觸、低摩擦以及低磨損的特點(diǎn),有效保證機器的使用壽命,減少測量不確定性的發(fā)生次數

    • 采用零膨脹系數光柵尺,分辨率高達到納米級別,且不受外界溫度影響,保證機器的高精度和穩定性

  • CMZ-安全性.288.png

    安全性

    • Z 軸采用柔性平衡氣缸,確保Z軸運動(dòng)的可靠性

    • Z 軸平衡氣缸具有氣動(dòng)邏輯保護和硬件抱死保護兩種保護機制,可在緊急情況下確保探測系統的安全


  • 證書(shū)-中文.jpg

    計量級精度

    • 得益于良好的系統設計,可實(shí)現亞微米級精度測量

  • 580×454_CMZ-5.png

    自主研發(fā),具有更好的適配性

    • 革命性的直線(xiàn)電機驅動(dòng)搭配 TCC 自研電控

    • Vispec Cube 自研軟件,獲得德國 PTB 最高等級 Class 1(0.1 微米、0.1 角秒)認證

    • 可搭配 HSP 固定掃描測頭、CSP緊湊型掃描測頭

    • 可搭配 TR50 旋轉測座

產(chǎn)品參數

  • CMZ686

  • CMZ8106

  • CMZ10128

  • CMZ10158

  • CMZ121510

  • CMZ122010

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