掩模關(guān)鍵尺寸（CD）測量系統

面向先進(jìn)掩模制造的高精度光學(xué)量測平臺

Spector 是專(zhuān)為半導體掩模制造中的關(guān)鍵尺寸（Critical Dimension）測量打造的?端光學(xué)量測系統，支持大 14 英寸掩模的高精度測量，全面滿(mǎn)足至 65 nm 工藝節點(diǎn)的掩模檢測需求。 

系統可選配紫外光源，并對光學(xué)器件進(jìn)行專(zhuān)門(mén)優(yōu)化，確保關(guān)鍵尺寸測量重復性?xún)?yōu)于 1.5 nm，滿(mǎn)足高穩定性和高一致性的量測要求。Spector 采用全封閉式設計，支持 SMIF 傳輸接口和全自動(dòng)化搬運流程，滿(mǎn)足潔凈環(huán)境下的自動(dòng)化生產(chǎn)需求。 同時(shí)，系統內置標準 SECS/GEM 通訊協(xié)議，便于無(wú)縫集成至 fab 自動(dòng)化系統，助力客戶(hù)實(shí)現高度自動(dòng)化，智能化的掩模制造流程。