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噴淋盤(pán)（1920x600）.jpg 噴淋盤(pán)（750x500）.jpg

噴淋頭測量

行業(yè)挑戰

  • 01

    噴淋頭孔徑直徑在零點(diǎn)幾毫米，公差需達到微米級標準，測量精度要求高

  • 02

    噴淋頭小孔數量數以萬(wàn)計，傳統測量效率受到嚴重制約

  • 03

    測量數據龐大，普通軟件運算能力受限

噴淋盤(pán)（580x454）.jpg

解決方案

噴淋頭作為半導體 CVD 設備的核心關(guān)鍵部件，反應氣體需通過(guò)其表面成千上萬(wàn)的小孔均勻輸送至反應腔內部，小孔的加工精度直接決定晶圓成膜的均勻性與整體制程品質(zhì)。由于噴淋頭小孔數量龐大、排布密集，傳統測量方式效率低下，對設備的高速、高精度檢測能力有著(zhù)嚴苛要求。

天準影像測量?jì)x搭載專(zhuān)屬飛拍功能，徹底革新傳統測量模式。區別于傳統設備“工作臺移動(dòng)定位-影像系統抓取被測特征-工作臺移動(dòng)定位”的循環(huán)方式，飛拍模式可在工作臺連續移動(dòng)的過(guò)程中同步完成特征抓取，全程無(wú)需停頓，大幅提升整體測量效率。針對噴淋頭微孔同心圓放射狀的排布特性，設備還支持專(zhuān)屬圓形路徑規劃檢測，精準適配工件結構特征，高效完成大批量微孔的高精度檢測作業(yè)。


方案優(yōu)勢

  • x1_iocn2.svg

    采用不停頓飛拍檢測，效率提升 5-10 倍

  • x1_iocn3.svg

    兼容直線(xiàn)、圓弧多種運動(dòng)軌跡

  • x1_iocn4.svg

    配套簡(jiǎn)易直觀(guān)的操作測量軟件

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