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VMZ 高精度影像儀

VMZ 超高精度影像儀專(zhuān)為高精度測量場(chǎng)景傾力打造,亞微米級精度,適用于半導體、微組裝、光通信等高精度測量場(chǎng)景。

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產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 高性能光學(xué)系統,超高放大倍率.jpg

    高性能光學(xué)系統,超高放大倍率

    • 多種高倍顯微鏡頭可選擇,放大倍率可達 25-6000 倍 

    • 激光輔助對焦,聚焦時(shí)間小于 1 秒

    • 可程控式環(huán)形落射光源,LED 輪廓光源,同軸光源,光源配置豐富,產(chǎn)品適用范圍廣


  • 高精度運動(dòng)平臺.jpg

    高精度運動(dòng)平臺

    • 花崗巖主體結構,精度高、穩定性好

    • 采用納米級超低膨脹系數光柵尺,確保機臺精度及穩定性 

    • 高速靜音電機驅動(dòng),設備平穩可靠


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    豐富的配件選項

    • 可加裝光譜位移傳感器,實(shí)現高度、平面度等尺寸的掃描與打點(diǎn)測量

    • 多種可選物鏡,實(shí)現更多的放大倍率


產(chǎn)品參數

  • VMZ432-T1

  • VMZ432-T2

  • VMZ432-T3

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