產(chǎn)品優(yōu)勢
產(chǎn)品參數
-
TZDI-40
-
TZDI-35
-
TZDI-25
-
TZDI-20
-
TZDI-12
-
-
平臺類(lèi)型
雙臺面
-
最大曝光尺寸 (mm)
630×810
-
基板厚度 (mm)
0.025-10
-
最小線(xiàn)寬線(xiàn)距 (μm)
40
-
量產(chǎn)線(xiàn)寬線(xiàn)距 (μm)
60
-
線(xiàn)寬精度
±10%
-
對位精度 (μm)
±12
-
層間對位精度 (μm)
24
-
景深 (μm)
±300
-
單機產(chǎn)能
8.5秒/面@20 mJ/cm2
-
自動(dòng)線(xiàn)產(chǎn)能
7秒/片@20 mJ/cm2
-
推薦應用
MLB(內外層)/陶瓷基板
-
-
-
平臺類(lèi)型
雙臺面
-
最大曝光尺寸 (mm)
630×810
-
基板厚度 (mm)
0.025-10
-
最小線(xiàn)寬線(xiàn)距 (μm)
35
-
量產(chǎn)線(xiàn)寬線(xiàn)距 (μm)
50
-
線(xiàn)寬精度
±10%
-
對位精度 (μm)
±10
-
層間對位精度 (μm)
20
-
景深 (μm)
±300
-
單機產(chǎn)能
8.5秒/面@20 mJ/cm2
-
自動(dòng)線(xiàn)產(chǎn)能
7.5秒/片@20 mJ/cm2
-
推薦應用
MLB(內外層)/陶瓷基板
-
-
-
平臺類(lèi)型
雙臺面
-
最大曝光尺寸 (mm)
630×810
-
基板厚度 (mm)
0.025-10
-
最小線(xiàn)寬線(xiàn)距 (μm)
25
-
量產(chǎn)線(xiàn)寬線(xiàn)距 (μm)
40
-
線(xiàn)寬精度
±10%
-
對位精度 (μm)
±10
-
層間對位精度 (μm)
20
-
景深 (μm)
±200
-
單機產(chǎn)能
10秒/面@20 mJ/cm2
-
自動(dòng)線(xiàn)產(chǎn)能
8秒/片@20 mJ/cm2
-
推薦應用
MLB(內外層)/HDI/FPC
-
-
-
平臺類(lèi)型
雙臺面
-
最大曝光尺寸 (mm)
630×810
-
基板厚度 (mm)
0.025-10
-
最小線(xiàn)寬線(xiàn)距 (μm)
20
-
量產(chǎn)線(xiàn)寬線(xiàn)距 (μm)
35
-
線(xiàn)寬精度
±10%
-
對位精度 (μm)
±8
-
層間對位精度 (μm)
16
-
景深 (μm)
±150
-
單機產(chǎn)能
10秒/面@20 mJ/cm2
-
自動(dòng)線(xiàn)產(chǎn)能
8.5秒/片@20 mJ/cm2
-
推薦應用
FPC/HDI
-
-
-
平臺類(lèi)型
雙臺面
-
最大曝光尺寸 (mm)
630×810
-
基板厚度 (mm)
0.025-10
-
最小線(xiàn)寬線(xiàn)距 (μm)
12
-
量產(chǎn)線(xiàn)寬線(xiàn)距 (μm)
25
-
線(xiàn)寬精度
±10%
-
對位精度 (μm)
±7
-
層間對位精度 (μm)
16
-
景深 (μm)
±150
-
單機產(chǎn)能
12秒/面@20 mJ/cm2
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自動(dòng)線(xiàn)產(chǎn)能
12秒/片@20 mJ/cm2
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推薦應用
IC Substrate/SLP/FPC
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