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明場(chǎng)缺陷檢測

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解決方案

天準明場(chǎng)缺陷檢測設備搭載 CMO 連續變倍技術(shù)，可適配用戶(hù)多樣化 pixel 應用場(chǎng)景，同時(shí)提供更友好的軟件功能模塊，支持 offline recipe 建立，提升用戶(hù)辦公效率。

設備搭載高速運動(dòng)平臺，連續運動(dòng)與 TDI 同步，減少 step 等待時(shí)間，搭配高速 HPC 提升運算效率。同時(shí)支持多材料光學(xué)模擬技術(shù)，可結合功率器件實(shí)際工藝結構提供全波時(shí)域仿真，波長(cháng)覆蓋 260~600 nm，精準匹配功率器件制程特性，輔助在線(xiàn)檢測方案。

方案優(yōu)勢

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    AI 算法與數據分析方案：智能檢測，噪聲抑制，多類(lèi)型適配

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    光學(xué)模擬仿真：專(zhuān)業(yè)的仿真引擎，豐富的材料數據庫，有效的方案優(yōu)化輸出

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    高速運動(dòng)平臺：平臺加速，檢測效率提升

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    靈活的軟件功能：更豐富應用場(chǎng)景，更便捷的操作使用，更高的開(kāi)發(fā)效率

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