天準 TZDI 載板系列激光直接成像設備專(zhuān)為載板級曝光制程（線(xiàn)路&防焊）的高精度需求而設計，核心搭載超精密氣浮驅控平臺，實(shí)現百納米級定位精度，配合高精度照明與投影光刻成像系統及高精度環(huán)控系統，確保圖形精度，降低環(huán)境波動(dòng)影響；同時(shí)融合自研高通量數據解決方案、多波長(cháng)混合光源技術(shù)及主動(dòng)聚焦技術(shù)，系統性提升數據處理效率、適配各類(lèi)油墨曝光需求并動(dòng)態(tài)補償基板形變，保障高產(chǎn)能、高品質(zhì)，適用 SLP、IC 載板、HDI（mSAP）等高端產(chǎn)品的線(xiàn)路層與防焊層圖形影像轉移。