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暗場(chǎng)缺陷檢測
解決方案
天準暗場(chǎng)缺陷檢測方案支持 266 nm 檢測波段，顯著(zhù)提升細微缺陷檢測精度；搭載 GDS ROI 繪制功能，有效提升 ROI 定義精度，提升缺陷信噪比，降低非關(guān)注區域的噪聲干擾。同時(shí)搭載多元化 AI 算法，高效優(yōu)化缺陷信號分析。
設備配套高速運動(dòng)平臺與高速 HPC，有效提升設備運動(dòng)速度與數據運算效率，從而提升整機 WPH 量產(chǎn)產(chǎn)能。
方案優(yōu)勢
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更高的 ROI 精度，更低的檢測噪聲
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AI 算法與數據分析方案：智能檢測，噪聲抑制，多類(lèi)型適配
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高速運動(dòng)平臺：平臺加速，檢測效率提升
