產(chǎn)品優(yōu)勢
產(chǎn)品參數
-
TZDI-12R
-
TZDI-25R
-
TZDI-35R
-
-
平臺類(lèi)型
單臺面
-
最大曝光尺寸 (mm)
200-1500
-
基板厚度 (mm)
0.036-0.25
-
極限線(xiàn)寬線(xiàn)距 (μm)
12/12
-
量產(chǎn)線(xiàn)寬線(xiàn)距 (μm)
25/25
-
線(xiàn)寬精度
±10%
-
對位精度 (μm)
±8
-
能力均勻性
≥95%
-
景深 (μm)
±100
-
產(chǎn)能
210面/h(以單面板產(chǎn)品尺寸 520×610 mm 為例,能量50 mJ/cm2)
-
推薦應用
FPC
-
設備尺寸 (m)
4.52×1.55×1.8
-
設備重量 (t)
5.3
-
-
-
平臺類(lèi)型
單臺面
-
最大曝光尺寸 (mm)
200-6000
-
基板厚度 (mm)
0.036-0.25
-
極限線(xiàn)寬線(xiàn)距 (μm)
25/25
-
量產(chǎn)線(xiàn)寬線(xiàn)距 (μm)
40/40
-
線(xiàn)寬精度
±10%
-
對位精度 (μm)
±10
-
能力均勻性
≥95%
-
景深 (μm)
±200
-
產(chǎn)能
5.5 m/min(以單面板產(chǎn)品尺寸 250×2000 mm 為例,能量50 mJ/cm2)
-
推薦應用
FPC
-
設備尺寸 (m)
5.84×1.55×1.8
-
設備重量 (t)
5.3
-
-
-
平臺類(lèi)型
單臺面
-
最大曝光尺寸 (mm)
200-6000
-
基板厚度 (mm)
0.036-0.25
-
極限線(xiàn)寬線(xiàn)距 (μm)
35/35
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量產(chǎn)線(xiàn)寬線(xiàn)距 (μm)
50/50
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線(xiàn)寬精度
±10%
-
對位精度 (μm)
±12
-
能力均勻性
≥95%
-
景深 (μm)
±300
-
產(chǎn)能
5.5 m/min(以單面板產(chǎn)品尺寸 250×2000 mm 為例,能量 50 mJ/cm2)
-
推薦應用
FPC
-
設備尺寸 (m)
5.84×1.55×1.8
-
設備重量 (t)
5.3
-